1、紫外吸收池：紫外吸收池应以不与臭氧起化学反应的惰性材料制成，并具有良好的机械稳定性。吸收池的臭氧损失不能大于5%。光路长度为已知值的99.5%。

　　2、紫外灯：所产生的紫外光被检测器接受的254nm的辐射至少占99。5%。

　　3、光度检测器：紫外臭氧分析仪光度检测器能满足在254nm波长下测量的灵敏度要求。浓度测量标准偏差不超过0.001mg/m3(0℃,101.3kpa)或浓度的2%。

　　4、臭氧涤除器：空气样品经过臭氧涤除器除支臭氧和干扰气体以后，进入吸收池，并由光度检测器测出I0臭氧涤除器的平均寿命由生产厂家给出。然而实际寿命由采样环境而定。当臭氧涤除器对环境中的臭氧反应明显降低(线性检验精度>1%)时，则应更换臭氧涤除器。

　　5、采样泵：紫外臭氧分析仪采样泵安装在气路的末端，抽吸空气流过臭氧分析仪，并能在仪器所需的流量和压力条件下运转。

　　6、流量控制器：控制流过臭氧分析仪的空气流量恒定在选定流量值的误差±2%范围以内。